Гянт болдын судалтай сканнердах электрон микроскоп, Эко. SEM, 15х ~ 250000х
Бүтээгдэхүүний тодорхойлолт
A63.7062 Вольфрамын утас Электрон микроскопыг сканнердах, Эко. SEM | ||
Тогтоол | 4.5nm@30KV (SE); 6nm @ 30KV (BSE) | |
Томруулах | Сөрөг томруулалт: 15х ~ 250000х; Дэлгэцийн томруулалт: 30х ~ 500000х | |
Электрон буу | Вольфрамын халаалттай катодоос урьдчилан төвлөрсөн вольфрамын судалтай хайрцаг | |
Хүчдэлийг хурдасгаж байна | 0 ~ 30КВ | |
Линзний систем | Гурван түвшний цахилгаан соронзон линз (нарийссан линз) | |
Зорилтот апертур | Молибдены апертурын тохируулгатай гадна вакуум систем | |
Сорьцын үе шат | Таван тэнхлэгийн үе шат | |
Аялал жуулчлалын хүрээ | X (Авто) | 0 ~ 50мм |
Y (Авто) | 0 ~ 50мм | |
Z (гарын авлага) | 0 ~ 25мм | |
R (гарын авлага) | 360o | |
T (гарын авлага) | -5o ~ 90o | |
Сорьцын хамгийн их диаметр | 150мм | |
Илрүүлэгч | SE: Өндөр вакуумтай хоёрдогч электрон илрүүлэгч (детекторын хамгаалалттай) | |
Өөрчлөлт | Үе шат шинэчлэх; EBL; STM; AFM; халаалтын үе шат; крио үе шат; суналтын үе шат; бичил нано манипулятор; SEM + бүрэх машин; SEM + лазер | |
Дагалдах хэрэгсэл | CCD, LaB6, рентген мэдрэгч (EDS), EBSD, CL, WDS, бүрэх машин | |
Вакуум систем | Турбо молекулын насос; Эргэлтийн насос | |
Электрон цацрагийн гүйдэл | 10pA ~ 0.1 |
Зурвасаа энд бичээд бидэнд илгээнэ үү